• Prof. Dr. Leonard Reindl - Lehrstuhl für elektrische Mess- und Prüfverfahren
• Prof. Dr. Yiannos Manoli - Lehrstuhl für Mikroelektronik
• Prof. Dr. Margit Zacharias - Lehrstuhl für Nanotechnologie
• Prof. Dr. Oliver Ambacher - Lehrstuhl für Verbindungshalbleiter
• Prof. Dr. Ulrich Egert - Lehrstuhl für Biomikrotechnik
• Prof. Dr. Karsten Buse - Lehrstuhl für Optische Systeme

Ehemalige Professoren:

• Prof. Dr. Walter Kuntz † - ehemals Lehrstuhl für elektrische Mess- und Prüfverfahren
• Prof. Dr. Wolfgang Menz - ehemals Lehrstuhl für Prozesstechnologie
• Prof. Dr. Christoph Ament - ehemals Lehrstuhl für Systemtheorie