Lehrstühle

		Anwendungsentwicklung Prof. Dr. Roland Zengerle			Aufbau und Verbindungstechnik Prof. Dr.-Ing. Jürgen Wilde
		Bio- und Nano-Photonik Prof. Dr. Alexander Rohrbach			Biomedizinische Mikrotechnik Prof. Dr. Thomas Stieglitz
		Biomikrotechnik Prof. Dr. Ulrich Egert			Chemie und Physik der Grenzflächen Prof. Dr. Jürgen Rühe
		Elektrische Mess- und Prüfverfahren Prof. Dr. Leonhard Michael Reindl			Konstruktion von Mikrosystemen Prof. Dr. Peter Woias
		Materialien Prof. Dr. Oliver Paul			Mikroaktorik Prof. Dr. Ulrike Wallrabe
		Mikroelektronik Prof. Dr.-Ing. Yiannos Manoli			Mikrooptik Prof. Dr. Hans Zappe
		Nanotechnologie Prof. Dr. Margit Zacharias			Optoelektronik Prof. Dr. Ulrich Schwarz
		Prozesstechnologie Prof. Dr. Holger Reinecke			Sensoren Prof. Dr. Gerald Urban
		Simulation Prof. Dr. Jan Korvink			Systemtheorie Prof. Dr. Jan Korvink
		Verbindungshalbleiter Mikrosysteme Prof. Dr. Oliver Ambacher			Werkstoffprozesstechnik Prof. Dr. Thomas Hanemann