Vorlesung Polymere in der Mikrosystemtechnik

Organisatorische Details

Art der Veranstaltung: Vorlesung im Diplomstudiengang, Vertiefungsrichtung Materialien
Umfang: 2 SWS

Ort und Zeit: Sommersemester (Details folgen)
Verantwortlich: Prof. Dr. Jürgen Rühe
Übungen: keine

Beschreibung der Vorlesung

Wie funktioniert eigentlich ein chemisch amplifizierter Photoresist, wie er bei der Herstellung von IC's eingesetzt wird? Warum verspröden manche Plastikbauteile mit der Zeit und versagen dann katastrophal? Warum ist der Kunststoff X von Hersteller A nicht gleich mit "demselben" Material von Hersteller B? Diese und ähnliche Fragen werden in der Vorlesung "Polymere in der Mikrosystemtechnik" beantwortet. Neben Silizium und Metallen sind Kunststoffe die am weitesten verbreiteten Materialien in der Mikrosystemtechnik. Auf Grund der leichten Verarbeitbarkeit und den vielfältigen Methoden der Formgebung erweitert sich das Einsatzgebiet von Kunststoffen in der MST ständig. In der Vorlesung werden die wichtigsten Grundzüge der Chemie und Physik von Polymeren erarbeitet. Dabei stehen vor allem Fragen im Vordergrund wie Eigenschaften der Materialien mit der molekularen Struktur der Polymeren zusammenhängen.

Materialien zur Vorlesung

Ausführliches Inhaltsverzeichnis (pdf)

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