Projektübersicht

Zentrale Forschungsidee Mikrotechnische Komponenten und Systeme werden heute in Millionenstückzahlen produziert und eingesetzt. Trotz der vielfältigen Anwendung von Mikrostrukturierungstechnologien in der Produktion bestehen relativ geringe Kenntnisse im Bereich der physikalisch / chemischen Vorgänge an der Grenzfläche zwischen Produktionswerkzeug und herzustellenden Bauteilen bzw. Werkstücken. Forschungsziel des Promotionskollegs ist es, die Generierungsprozesse von Mikrostrukturen zu beschreiben und genauer zu verstehen. Dadurch werden die Prozesse für weitere Miniaturisierungsstufen beherrschbarer und kontrollierbarer und die Methodik für zielgerichtete Eingriffe zur Verbesserung von Prozessen erweitert. Zur Erreichung dieses Zieles werden im Rahmen des Promotionskollegs anhand einer breiten Materialpalette, von Metallen, über Halbleiter bis hin zu Keramiken, ein Verständnis der einzelnen Prozessabläufe erarbeitet und ein Modell für den jeweiligen Strukturierungsprozess aufgestellt. Bei der Untersuchung wird jeweils ein komplementärer Ansatz verfolgt, bei dem additive und subtraktive Prozesse zur Strukturierung eines Materials anhand von Modellkörpern untersucht und bewertet werden. Bei diesem Vorgehen ergibt sich für die Prozesse ein Zustandsraum, der eine große Anzahl von Einflussfaktoren systematisch abbildet. Damit wird es möglich werden, eine Methodik zu erarbeiten, von der kontrollierte Prozessumgebungen abgeleitet, eine geeignete Anlagentechnologie entwickelt und reproduzierbare Ergebnisse bei der Bearbeitung erhalten werden können. Weiterhin können mit diesen grundlegenden Erkenntnissen eine weitere Verkleinerung von Strukturen und Körpern erreicht werden. weiter Infos unter: http://www.genmik.uni-freiburg.de/