Projects
ELSA Grind - ELID unterstütztes Schleifen dünner, mikrostrukturierter Saphir-Wafer; Simulation, Design, Entwurf und Mikrostrukturierung akustischer transversal polarisierter Scherwellenresonatoren auf ELID-prozessierten Saphir-Wafer
Project description
.
Start/End of project
01.12.2007 until 30.11.2009
Project manager
Leonhard Reindl
Contact person
Leonhard Reindl
Phone:0761 203 7221
Email:reindl@imtek.uni-freiburg.de
Partners
Azzurro Semiconductors AG Magdeburg,G&N GmbH Erlangen, FH Deggendorf
Funding
Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen e. V. (AiF)