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Parylene-C zählt aufgrund seiner biologischen Inaktivität zu den geeignetsten Materialien für die Beschichtung elektrisch leitfähiger Komponenten die in Kontakt mit humanem Gewebe kommen. Viele vorteilhafte chemische und elektrische Eigenschaften weisen dem Material zusätzlich eine herausragende Stellung als elektrischer Isolator für Medizintechnikprodukte zu. Andere Polymermaterialen weisen im Vergleich eine starke Abschwächung der elektrischen Durchschlagsfestigkeit nach mehrmaliger Wiederaufbereitung auf. Ziel dieses Projektes ist es, ein Parylene-Beschichtungsverfahren für Ableitelektroden und Stimulationssonden zu entwickeln, das hinsichtlich der Flexibilität der Beschichtungseigenschaften und der Wiederverwendbarkeit der Produkte deutlich über den bisherigen technischen Stand hinausgeht. Die Beschichtung muss dazu durch eine Plasma-Vorbehandlung der Substrate haftbarer und stabiler gemacht. Es soll ein Prototyp des Verfahrens entwickelt werden, in dem der Zusammenhang zwischen Prozessparametern und Beschichtungseigenschaften hinreichend untersucht wurde, damit eine industrielle Nutzung des Beschichtungsprozesses nach Abschluss der FuE Arbeiten möglich ist.