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Mikroakustische Membranbiegeschwinger zur Analytik in Flüssigkeit

Project description

Gegenstand des Neuantrags ist die Entwicklung eines mikroakustischen Sensors zur Analytik in Flüssigkeit. Der Sensor basiert auf einer AlN-Membran die zu asymmetrischen Schwingungen angeregt wird. Die Arbeitsfrequenz des Sensors ist etwa 60 mal geringer als die von vergleichbaren Oberflächen- oder Volumenwellenbauelementen und der Sensor ist besonders gut zur simultanen Detektion unterschiedlicher Stoffeigenschaften geeignet. Ein neuartiger Aufbau des Sensors soll wesentliche Nachteile des gängigen Aufbaus eliminieren. Im neuartigen Aufbau sind die Elektroden in der Membran vergraben, wodurch die elektromechanische Kopplung maximiert und der Wandler elektrisch abgeschirmt wird. Wegen der vollständigen Abschirmung sind beide Seiten der Membran nutzbar. Die Vorteile sind ein vermindertes Signal-zu-Rausch-Verhältnis, eine verminderte Druckabhängigkeit, eine erhöhte Sensitivität und minimales elektrisches Übersprechen. Eine weitere Zielsetzungen ist die frequenzdiverse Messung zur Analytik von nicht standartisierten Flüssigkeiten. Dazu soll das Systemverhalten erstmalig mit Reflexionen modelliert und optimiert werden. Die Performance des Sensors soll mit DNA, Dopamin und der simultanen Bestimmung von Massenbelegung, Fluiddichte, Viskosität, Kompressibilität und Temperatur geprüft werden.

Start/End of project

04.01.2013 until 03.01.2015

Project manager

Prof. Dr. Leonhard Reindl

Contact person

Dipl.-Ing. Philip Katus
Phone:+49 761 203-7185

Partners

Lehrstuhl für Verbindungshalbleiter IMTEK Freiburg

Funding

DFG
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