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Parylene-Beschichtung

Parylene Anlage

Parylene Anlage

 

Die Plasma Technologie Gruppe beschäftigt sich mit der Weiterentwicklung einer Cluster-Anlage, die ein standard Parylene-Beschichtungsprozess mit einem Plasmaprozess vereinigt.

Die erste Ergebnisse zeigten, dass das System die Haftung der Parylenfilm auf das Substrat sowie seine Barriereeigenschaften enorm erhöht.

 

 

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