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Mechanische Sensorik

Piezoresistivität Piezo-Feldeffekttransistor FET Scherpiezowiderstand Kraftsensor Drehmomentsensor Drucksensor Taktiler Sensor Intelligente Zahnspange Packaging-Test    Magnetischer Formgedächtniseffekt

Kompetenz

Zur Messung mechanischer Signale bedienen wir uns piezoresistiver, magnetomechanischer und kapazitiver Effekt in Halbleitern, magnetischen Formgedächtnislegierungen, bzw. Dünnschichtmembran-Strukturen. Piezoresistive Sensoren nutzen den Transporteffekt in CMOS-kompatiblen, diffundierten Siliziumstrukturen sowie in Feldeffekttransistoren, so genannten Piezo-FETs aus. Diese zum Teil hochinnovativen Strukturen erlauben die Messung aller Komponenten des mechanischen Spannungstensors, fünf davon mit inhärenter Kompensation ihrer resistiven Temperaturabhängigkeiten. Die mikromechanische Nachbearbeitung der CMOS-Strukturen erlaubt eine gezielte Einstellung der mechanischen Sensorantwort. Die sensorischen Komponenten werden mit IC-Schaltungsblöcken zu Systemen verschmolzen und stehen als taktile Messfühler, Kraft-, Drehmoment- und Drucksensoren für breite Anwendungen zur Verfügung. Im Fall der intelligenten Zahnspange werden die Sensorchips mit hausintern gefertigten Mikrospulen zum telemetrischen System kombiniert. CMOS-Technologien unserer Projektpartner dienen uns als Fertigungsgrundlage.

 

Tactile Sensor

Anwendungsfelder

  • Drucksensorik

  • Kraftsensorik

  • Koordinaten-Messmaschine

Team

  • Dipl.-Ing. Jochen Stephan, Doktorand

  • Dr. Pekka Pursula, Gastwissenschaftler (VTT, Finnland)

Projekte

Aktuell

Abgeschlossen

  • Piezoresistive Sensors, Micronas

  • Tactile Sensors, Zeiss

Ausgewählte Publikationen

  • J. M. Stephan, K. Retan, P. Ruther, and O. Paul
    The Inverse Magnetic Shape Memory Effect in membranes for Pressure Sensor Applications
    Proc. IEEE Sensors 2012 Conference, to be published

  • J. Stephan, E. Pagounis, M. Laufenberg, O. Paul, P. Ruther
    A Novel Concept for Strain Sensing Based on the Ferromagnetic Shape Memory Alloy NiMnGa
    2011 Ieee Sens J, Band: 11, Nummer: 11, Seiten: 2683 - 2689

  • J. Stephan, K. Retan, P. Ruther, O. Paul.
    Effects of Temperature Treatment on Strain Sensors Based on the Ferromagnetic Shape Memory Alloy NiMnGa
    2011 IEEE Sensors 2011 Conference, Limerick, Ireland

  • J. Stephan, E. Pagounis, M. Laufenberg, P. Ruther, O. Paul
    Mechanical Sensing Based on Ferromagnetic Shape Memory Alloys
    Proc. 2010 IEEE SENSORS 2010 Conference, Waikoloa, USA , Seiten: 2577 - 2580

Ausrüstung

  • Custom Tensile Test mit integriertem Magnetfeld

  • Bulge-Test

  • Vier-Punkt Biegebrücke

  • Torsionsbrücke

  • Elektromagnet (Bruker)

Partner

Infineon Techologies

Intel

Kontakt

Jochen Stephan

Email: Jochen.Stephan@imtek.de

Tel.: +49 (0) 761 203-7195

Benutzerspezifische Werkzeuge