Parylene-Beschichtung
Parylene Anlage
Die Plasma Technologie Gruppe beschäftigt sich mit der Weiterentwicklung einer Cluster-Anlage, die ein standard Parylene-Beschichtungsprozess mit einem Plasmaprozess vereinigt.
Die erste Ergebnisse zeigten, dass das System die Haftung der Parylenfilm auf das Substrat sowie seine Barriereeigenschaften enorm erhöht.
Publikationen
Ansprechpartner
- Dr. Loïc Ledernez, ledernez@imtek.de, Telefon +49 761 203 7269
- Dr.-Ing. Michael Bergmann,bergmann@imtek.de, Telefon +49 761 203 7269